SEC-N112 數字式質量流量控制器

簡要描述：概要基于多年來技術產品的市場發展經驗，我們提供了一系列滿足客戶需求的質量流量計產品

產品型號：
廠商性質：經銷商
更新時間：2025-09-11
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詳情介紹

概要

基于多年來技術產品的市場發展經驗，我們提供了一系列滿足客戶需求的質量流量計產品。
氣體被廣泛地運用于各種工業領域，從太陽能電池、燃料電池的研究和制造，這一獲得巨大關注的再生能源項目得到了各地的支持；到半導體、液晶面板和在電子行業中使用的發光二極管（LED）的研究和制造。在這些制造工藝中，對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率，進而節約了能源和提高了生產力。HORIBA STEC致力于質量流量計的發展，為的制造工藝，包括半導體、光電和LED的制造提供服務，并將繼續開發新的產品來滿足客戶的需求。

型號

10sccm	10SLM	20SLM	100SLM	200SLM
SEC-N102	SEC-N112	SEC-N122	SEC-N132	SEC-N142
SEC-N104	SEC-N114	SEC-N124	SEC-N134	SEC-N144
SEC-N106	SEC-N116	SEC-N126	SEC-N136	SEC-N146

特征

HORIBA STEC可以提供滿足您需求的全套產品。

型號	選擇信號傳輸模式	選擇電源
SEC-N102 系列	數字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協議模擬式信號傳輸 ?0～5VDC	±15VDC (±5%) HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的電源產品。
SEC-N104 系列	DeviceNet 信號傳輸	遵照ODVA標準
SEC-N106 系列	PROFIBUS 信號傳輸模擬式信號傳輸 ?0 至 5VDC, 0 至 10VDC　4 至 20mA	遵照PROFIBUS標準 24VDC(13 to 32VDC)

此型號適合各種小流量到大流量的需要。

流量控制范圍為標定滿量程的2～99%

高精度

■高精度（設定點為基準）MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數據將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統進行校驗。

整個流量控制范圍內都可實現高響應速度

■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可變PID運算法則：1秒高速響應 SEC-N100 系列搭載了開發的“可變PID系統”，對于所有設置點它可以實現1秒內的高響應速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據當下的設定點不斷變化，其PID參數也將隨之被優化。