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1579A高流量質(zhì)量流量計(jì)控制器1579A是一種通用的彈性密封的大流量的質(zhì)量流量控制器，可在生產(chǎn)，分析，工業(yè)以及測(cè)試等多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，其量程為50SLM到300SLM
1559A大流量模擬橡膠密封質(zhì)量流量控制器1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制
M330H/M330AH_模擬金屬密封可加熱溫度達(dá)到150度質(zhì)量流量控制器流量:10sccm-40000sccm;校準(zhǔn)精度:1%ofF
1150A基于壓力的質(zhì)量流量控制器1150蒸汽源質(zhì)量流量控制器MFC是一種基于壓力的測(cè)量和控制系統(tǒng)，用于直接測(cè)量和控制從低蒸汽壓液體源和固體源中產(chǎn)生的蒸汽，而無(wú)需其它運(yùn)載氣體
M330B_低壓降模擬金屬密封質(zhì)量流量控制器模擬式;流量范圍:5-100sccm;正常工作壓力:1200Torr;精度:1%ofF
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